Estudio del comportamiento térmico de un micromanipulador de partículas biológicas
Palabras clave:
Modelado electrotérmico, dielectroforésis, biochipsResumen
El creciente interés por parte de investigadores enmicrobiología por disponer de métodos para la caracterizacióny manipulación de biopartículas, haimpulsado el diseño y fabricación de microherramientasen tecnología de semiconductores, basadasen la interacción de partículas polarizables con uncampo eléctrico no uniforme, fenómeno conocidocomo dielectroforésis. Antes de utilizar la microestructuracon biopartículas en sus medios de cultivooriginales de alta conductividad, es necesario estudiarla respuesta del microsistema ante los cambiosde temperatura inducidos por la corriente eléctricaque circula entre los electrodos. El objetivo de éstetrabajo es el modelado de una microestructura concuatro electrodos en espiral, diseñados para aplicacionesde dielectroforésis de onda viajera. Dadaslas características del problema, se hace necesariala realización de un análisis acoplado directo electro-térmico. Los electrodos de aluminio, con anchoy separación de 5 mm, fueron crecidos sobreun substrato de SiO2 y forman parte del procesoCMOS realizado en el Centro Nacional de Microelectrónicade Barcelona (España).
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