Síntesis y estudio del efecto del sustrato sobre las propiedades morfológicas de películas delgadas de Silicio intrínseco. Avances [Internet]. 2010 Dec. 1 [cited 2025 Feb. 8];1(13):26-34. Available from: https://revistas.unilibre.edu.co/index.php/avances/article/view/2684