Síntesis y estudio del efecto del sustrato sobre las propiedades morfológicas de películas delgadas de Silicio intrínseco. Avances Investigación en Ingeniería, [S. l.], v. 1, n. 13, p. 26–34, 2010. Disponível em: https://revistas.unilibre.edu.co/index.php/avances/article/view/2684. Acesso em: 8 feb. 2025.